Parameter
规格参数
| 品牌 | 洁盟 skymen | |
| 型号 | JMD-20M Pro | |
| 基础参数 | 外形尺寸 | 650*800*1750mm |
| 腔体尺寸 | 260*260*300mm | |
| 容量 | 20L | |
| 频率 | 13.56MHz 自动网络匹配 | |
| 功率 | 300W | |
| 重量 | 200kg | |
| 托盘 | 尺寸 | 225*255mm |
| 层数 | 2-4层 | |
| 材质 | 304不锈钢(喷砂+电抛光) | |
| 控制系统 | 工作模式 | 手动/自动 |
| 控制方式 | PLC+人机界面 | |
| 触摸屏 | 10寸 | |
| 气体系统 | 气体通道 | 2-4路 |
| 流量范围 | 0-200SCCM/0-500SCCM (可选) | |
| 流量控制器 | 2-4个气体质量流量控制器 | |
| 气体接口 | 软管或卡套接头(6mm外径) | |
| 气体压力 | 0.1~0.2MPa | |
| 工艺气体 | 氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体等 | |
| 真空系统 | 抽速 | 16m3/h |
| 极限真空度 | 10Pa以下 | |
| 真空泵 | 标配油泵(配油雾过滤器),可选干泵 | |
| 真空计 | 最小分辨率0.1Pa | |
| 量程 | 1*10-2~1*105Pa | |
Particulars
产品详情
洁盟（skymen）JMD-20M Pro 20L真空等离子清洗机，采用13.56MHz射频等离子技术，搭载自动网络匹配，可稳定完成工件表面清洗、活化、改性工艺。设备采用密封真空腔体，搭配PLC触屏控制系统与多路工艺气体通道，等离子放电稳定均匀、对样品损伤低，非常适合半导体封装、光学器件、生物医疗、高分子材料、FPC线路板、实验室科研等精密表面处理场景，是干式等离子表面处理优选设备。
核心优势
1.13.56MHz射频电源 + 自动网络匹配，自动匹配负载，等离子输出稳定，工艺重复性好，对敏感元器件损伤小；
2.密闭真空环境，等离子分布均匀，处理效果一致性高；
3.PLC+10寸触摸屏控制，支持手动、自动双模式，工艺配方可存储、一键调用，操作简单；
4.2~4路气体通道，可搭配多种工艺气体，灵活开发不同表面处理工艺；
5.304不锈钢托盘（喷砂+电抛光），耐腐蚀，支持2-4层放料，批次处理效率高。
产品功能与应用
清洗：干式去除表面有机污染物、油污、脱模剂、微小颗粒，无废水排放，环保洁净；
活化：提升材料表面达因值，提高粘接、封胶、印刷、镀膜的附着力，解决脱胶、掉膜不良；
表面改性：调控高分子、复合材料亲水 / 疏水性能，适配生物材料、薄膜样品改性。
适用行业：芯片封装、PCB/FPC软板、光学镜片、医疗高分子耗材、橡塑、新能源材料、高校及企业实验室样品前处理等。
Recommend
