Parameter
规格参数
| 型号 | JMD-ZKS-80D |
| 整机尺寸（mm） | 800(W)×800(D)×1750(H) 定制外形以实际为准 |
| 重量（Kg） | 300 |
| 真空舱室 | 材质304不锈钢 |
| 尺寸（mm）: W400;H500;D400 | |
| 层数（水平分层）2-5层 | |
| 极限真空：≤20mTorr ；漏气率≤10mTorr/min | |
| 真空舱门 | 材质：铝合金 |
| 观察窗：高清玻璃 | |
| 电极 | 航空级6系铝合金 |
| 托盘 | 304不锈钢（可根据需求定制结构） |
| 射频电源（配置真空电容匹配器） | 输出频率：13.56MHz |
| 功率调节：50-1000W连续可调 | |
| 控制精度：1% | |
| 负载阻抗：50Ω | |
| 真空测量 | 皮拉尼真空传感器，精度0.1Pa |
| 量程（pa）：1×10-2～1×105 | |
| 通讯方式：RS232/485串口 | |
流量计和工艺气路 | 2路工艺气体通道 2个质量流量计（MFC） 流量范围：0-200sccm |
| 控制系统 | 操作方式：触摸屏操作 |
| 控制方式：自动/手动 | |
| 硬件：工控机+西门子PLC+MCGS触摸屏 | |
| 触摸屏尺寸：10+23.8英寸 | |
| 干泵（配消声器） | 接口：KF40 |
| 抽速120m3/h | |
| 外部连接 | 供电 : 380V ；50/60Hz |
| 工艺气体接口 : 6mm外径 | |
| 工艺气体压力 : 0.2-0.3MPa | |
| 压缩空气压力 : 0.4-0.6MPa | |
| 其他说明 | 真空腔体内气浴设计，工艺气体分布更加均匀 |
| 随机附带1个触控笔 | |
| 随机附带1条不锈钢波纹管 | |
| 支持扫描产品二维码录入程序功能，避免人工误操作 |
Particulars
产品详情
1.手动控制和自动控制2种模式随时切换，自动模式可设定处理时间，功率大小等参数，软件界面实时显示各种参数，例如功率值、真空度、处理时间等参数。
2.软件设计时考虑工艺气体充分充满舱体或者2种气体充分混合因素，所以软件会在通入工艺气体一定时间（时间可设定），等气体充满舱体或2种气体充分混合后才会开启射频，进行等离子处理，使处理效果更好。
3.程序有分级管理员设计，自动程序编辑有独立密码。
4. 可设定1000组以上配方，以数字及字母任意组合命名。如117H51,NU294
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