JMD-35M Pro

洁盟(skymen)JMD-35M Pro 35L真空等离子清洗机,采用13.56MHz射频电源并搭载自动网络匹配功能,可稳定完成工件表面清洗、活化、改性工艺。设备配置35L大容量密封真空腔体,搭配PLC触屏控制系统与多路工艺气体通道,等离子输出稳定均匀、对敏感元器件损伤低,适合中等批量精密工件表面处理,广泛应用于半导体封装、光学器件、医疗耗材、FPC 线路板、高分子材料、高校及企业科研实验室等场景。
Parameter

规格参数

品牌洁盟 skymen
型号JMD-35M Pro
基础参数外形尺寸650*800*1750mm
腔体尺寸300*300*400mm
容量35L
频率13.56MHz 自动网络匹配
功率300W
重量220kg
托盘
尺寸265*355mm
层数2-4层
材质304不锈钢(喷砂+电抛光)
控制系统
工作模式手动/自动
控制方式PLC+人机界面
触摸屏10寸
气体系统
气体通道2-4路
流量范围0-200SCCM/0-500SCCM (可选)
流量控制器2-4个气体质量流量控制器
气体接口软管或卡套接头(6mm外径)
气体压力0.1~0.2MPa
工艺气体氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体等
真空系统
抽速16m3/h
极限真空度10Pa以下
真空泵标配油泵(配油雾过滤器),可选干泵
真空计
最小分辨率0.1Pa
量程1*10-2~1*105Pa


Particulars

产品详情

洁盟(skymen)JMD-35M Pro 35L真空等离子清洗机,采用13.56MHz射频电源并搭载自动网络匹配功能,可稳定完成工件表面清洗、活化、改性工艺。设备配置35L大容量密封真空腔体,搭配PLC触屏控制系统与多路工艺气体通道,等离子输出稳定均匀、对敏感元器件损伤低,适合中等批量精密工件表面处理,广泛应用于半导体封装、光学器件、医疗耗材、FPC 线路板、高分子材料、高校及企业科研实验室等场景。


核心优势

1.13.56MHz射频电源+自动网络匹配,自动适配负载变化,等离子输出稳定,工艺重复性优秀,对精密元器件损伤小;

2.35L大容量密封真空腔体,腔体空间充足,等离子分布均匀,单次装载量大,满足中等批量生产需求;

3.PLC+10寸触摸屏智能控制,支持手动、自动双模式运行,工艺配方可存储调用,操作简单,方便标准化生产;

4.可选2~4路气体通道,搭配高精度质量流量控制器,支持多种工艺气体,便于开发多样化表面处理工艺;

5.304不锈钢托盘(喷砂 + 电抛光),支持2~4层放料,耐各类工艺气体腐蚀,装样便捷。


产品功能与应用

清洗:干式去除表面有机污染物、油污、脱模剂、微小颗粒,无废水排放,绿色环保;

活化:提升材料表面达因值,显著提高粘接、封胶、印刷、镀膜附着力,改善脱胶、掉膜等不良问题;

表面改性:调控高分子、复合材料亲水 / 疏水特性,适配生物材料、薄膜样品改性需求。


适用行业:芯片封装、PCB/FPC 软板、光学零部件、医疗高分子耗材、新能源材料、橡塑、高校及企业实验室样品前处理等。


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