Parameter
规格参数
| 品牌 | 洁盟 skymen | |
| 型号 | JMD-35M Pro | |
| 基础参数 | 外形尺寸 | 650*800*1750mm |
| 腔体尺寸 | 300*300*400mm | |
| 容量 | 35L | |
| 频率 | 13.56MHz 自动网络匹配 | |
| 功率 | 300W | |
| 重量 | 220kg | |
| 托盘 | 尺寸 | 265*355mm |
| 层数 | 2-4层 | |
| 材质 | 304不锈钢(喷砂+电抛光) | |
| 控制系统 | 工作模式 | 手动/自动 |
| 控制方式 | PLC+人机界面 | |
| 触摸屏 | 10寸 | |
| 气体系统 | 气体通道 | 2-4路 |
| 流量范围 | 0-200SCCM/0-500SCCM (可选) | |
| 流量控制器 | 2-4个气体质量流量控制器 | |
| 气体接口 | 软管或卡套接头(6mm外径) | |
| 气体压力 | 0.1~0.2MPa | |
| 工艺气体 | 氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体等 | |
| 真空系统 | 抽速 | 16m3/h |
| 极限真空度 | 10Pa以下 | |
| 真空泵 | 标配油泵(配油雾过滤器),可选干泵 | |
| 真空计 | 最小分辨率0.1Pa | |
| 量程 | 1*10-2~1*105Pa | |
Particulars
产品详情
洁盟(skymen)JMD-35M Pro 35L真空等离子清洗机,采用13.56MHz射频电源并搭载自动网络匹配功能,可稳定完成工件表面清洗、活化、改性工艺。设备配置35L大容量密封真空腔体,搭配PLC触屏控制系统与多路工艺气体通道,等离子输出稳定均匀、对敏感元器件损伤低,适合中等批量精密工件表面处理,广泛应用于半导体封装、光学器件、医疗耗材、FPC 线路板、高分子材料、高校及企业科研实验室等场景。
核心优势
1.13.56MHz射频电源+自动网络匹配,自动适配负载变化,等离子输出稳定,工艺重复性优秀,对精密元器件损伤小;
2.35L大容量密封真空腔体,腔体空间充足,等离子分布均匀,单次装载量大,满足中等批量生产需求;
3.PLC+10寸触摸屏智能控制,支持手动、自动双模式运行,工艺配方可存储调用,操作简单,方便标准化生产;
4.可选2~4路气体通道,搭配高精度质量流量控制器,支持多种工艺气体,便于开发多样化表面处理工艺;
5.304不锈钢托盘(喷砂 + 电抛光),支持2~4层放料,耐各类工艺气体腐蚀,装样便捷。
产品功能与应用
清洗:干式去除表面有机污染物、油污、脱模剂、微小颗粒,无废水排放,绿色环保;
活化:提升材料表面达因值,显著提高粘接、封胶、印刷、镀膜附着力,改善脱胶、掉膜等不良问题;
表面改性:调控高分子、复合材料亲水 / 疏水特性,适配生物材料、薄膜样品改性需求。
适用行业:芯片封装、PCB/FPC 软板、光学零部件、医疗高分子耗材、新能源材料、橡塑、高校及企业实验室样品前处理等。
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